发布文献求助

已入深夜，您辛苦了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！祝你早点完成任务，早点休息，好梦！

Innovative design solutions for avoiding at-resolution field stitching in high-NA EUV lithography

图像拼接极紫外光刻平版印刷术领域（数学）计算机科学分辨率（逻辑）材料科学光学光电子学物理人工智能数学纯数学

作者

Kenichi Miyaguchi,Ryoung-Han Kim,Apoorva Oak,Youssef Drissi,Chieh-Miao Chang,Jeonghoon Lee,Yasser Sherazi,Darko Trivković,Ru-Gun Liu

标识

DOI：10.1117/12.3051547

求助该文献

最长约 10秒，即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 毛毛酱酱酱发布了新的文献求助10

刚刚; 深情安青的应助被大鹅采纳，获得10

刚刚; 雕刻时光的达芬奇发布了新的文献求助10

1秒前; Manchester发布了新的文献求助10

1秒前; sdccx的应助被ruru采纳，获得100

2秒前; Alivelean驳回了帅酷的小刺猬的应助

2秒前; 天天快乐的应助被魏泽洪采纳，获得10

2秒前; 冷酷孤风发布了新的文献求助10

2秒前; Lucas上传了应助文件

3秒前; 田様的应助被wwk采纳，获得10

4秒前; 科研通AI6上传了应助文件

4秒前; Mic上传了应助文件

5秒前; lifeng完成签到，获得积分10

5秒前; 小二郎的应助被moshang采纳，获得80

6秒前; CipherSage的应助被小卢同学采纳，获得10

7秒前; 大模型上传了应助文件

7秒前; 单纯的爆米花发布了新的文献求助10

8秒前; orixero上传了应助文件

8秒前; 开心的若烟完成签到，获得积分10

9秒前; Adc上传了应助文件

10秒前; LaTeXer上传了应助文件

10秒前; better完成签到，获得积分10

10秒前; ruru发布了新的文献求助10

11秒前; LaTeXer上传了应助文件

12秒前; 热闹的冬天发布了新的文献求助10

13秒前; 花坂结衣发布了新的文献求助10

13秒前; 黄澄完成签到，获得积分20

14秒前; 阔达忆秋发布了新的文献求助10

14秒前; 斯文败类的应助被hshever采纳，获得10

15秒前; 田様上传了应助文件

15秒前; 对你如初发布了新的文献求助10

16秒前; SciGPT的应助被不过尔尔采纳，获得10

16秒前; 小马甲的应助被xt采纳，获得10

17秒前; 桐桐上传了应助文件

18秒前; 傻傻的语蕊完成签到，获得积分10

18秒前; wwk发布了新的文献求助10

19秒前; 西瓜完成签到，获得积分10

20秒前; 小龄完成签到，获得积分10

21秒前; Lucas上传了应助文件

21秒前; wyz653发布了新的文献求助10

22秒前

高分求助中: (应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000; Clinical Microbiology Procedures Handbook, Multi-Volume, 5th Edition 2000; The Cambridge History of China: Volume 4, Sui and T'ang China, 589–906 AD, Part Two 1000; The Composition and Relative Chronology of Dynasties 16 and 17 in Egypt 1000; Russian Foreign Policy: Change and Continuity 800; Real World Research, 5th Edition 800; Qualitative Data Analysis with NVivo By Jenine Beekhuyzen, Pat Bazeley · 2024 800

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 5713601; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 5216868; 关于积分的说明 15271453; 捐赠科研通 4865315; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2612035; 邀请新用户注册赠送积分活动 1562226; 关于科研通互助平台的介绍 1519399

今日热心研友

专注的问寒

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通