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Investigation of the effect of heater electrode heat transfer on heat losses in Czochralski silicon crystal growth based on 3D global numerical simulation

硅 直拉法 电极 传热 材料科学 晶体生长 热力学 化学 光电子学 结晶学 物理化学 物理
作者
Chao Qi,D. Li,Junlan Wang,Zeqi Zhong,Yang Yao,Zaoyang Li,Lijun Liu
出处
期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
日期：2025-06-25 卷期号：668: 128284-128284
标识
DOI：10.1016/j.jcrysgro.2025.128284
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