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Processing of hafnium oxide thin films by 2 MeV Kr ion beam for opto-electronic applications

铪材料科学离子束离子氧化物薄膜梁（结构）光电子学纳米技术光学物理冶金锆量子力学

作者

Sikta Mandal,Shushant Kumar Singh,Pravin Kumar,Udai P. Singh

出处

期刊：Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms [Elsevier BV]
日期：2024-06-14 卷期号：554: 165434-165434

标识

DOI：10.1016/j.nimb.2024.165434

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