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Atomic Layer Deposition and Atomic Layer Etching—An Overview of Selective Processes

原子层沉积蚀刻（微加工）原子层外延图层（电子）材料科学纳米技术沉积（地质）纳米电子学纳米光子学逐层光电子学地质学沉积物古生物学

作者

Samiha Hossain,O. H. Gokce,Nuggehalli M. Ravindra

出处

期刊：The minerals, metals & materials series 日期：2021-01-01 卷期号：: 219-229

标识

DOI：10.1007/978-3-030-65261-6_20

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