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240×240 Wafer-Scale Silicon Photonic Switches

图像拼接 薄脆饼 十字线 硅光子学 微电子机械系统 光子学 串扰 光电子学 硅 炸薯条 材料科学 晶圆规模集成 晶片键合 硅片 绝缘体上的硅 电子工程 电气工程 光学 工程类 物理
作者
Tae Joon Seok,Kyungmok Kwon,Johannes Henriksson,Jianheng Luo,Ming C. Wu
出处
期刊： 日期：2019-01-01 卷期号：: Th1E.5-Th1E.5 被引量：13
标识
DOI：10.1364/ofc.2019.th1e.5
摘要
We report on 240x240 silicon photonic MEMS switches on 4cm x 4cm dies realized by wafer-scale integration and reticle stitching. The maximum on-chip loss is measured to be 9.8dB and the crosstalk is below -70dB.
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