发布文献求助
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！

20nm Line/space patterns in HSQ fabricated by EUV interference lithography

极紫外光刻 倍半硅氧烷氢 干涉光刻 材料科学 平版印刷术 抵抗 光刻胶 多重图案 下一代光刻 模版印刷 干扰（通信） 光电子学 线条宽度 电子束光刻 直线（几何图形） 光学 纳米技术 物理 计算机科学 计算机网络 替代医学 几何学 数学 图层（电子） 病理 制作 医学 频道（广播）
作者
Yasin Ekinci,Harun H. Solak,Celestino Padeste,J. Gobrecht,Mark P. Stoykovich,Paul F. Nealey
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
日期：2007-02-10 卷期号：84 (5-8): 700-704 被引量：64
标识
DOI：10.1016/j.mee.2007.01.213
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
崔迎松发布了新的文献求助10
8秒前
研友_大帅完成签到，获得积分10
14秒前
宝贝丫头完成签到 ，获得积分10
16秒前
Aaaapear完成签到，获得积分10
19秒前
lyt完成签到，获得积分10
20秒前
bwx发布了新的文献求助200
23秒前
刘坦苇发布了新的文献求助10
28秒前
狂野的巨人完成签到 ，获得积分10
37秒前
葡萄选手完成签到 ，获得积分10
48秒前
江城一霸完成签到，获得积分10
48秒前
枝头树上的布谷鸟完成签到 ，获得积分10
1分钟前
平淡如天完成签到，获得积分10
1分钟前
SciGPT的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
ding的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
1分钟前
崔迎松发布了新的文献求助10
1分钟前
崔迎松完成签到，获得积分10
2分钟前
susu307完成签到 ，获得积分10
2分钟前
热心一江发布了新的文献求助10
2分钟前
wangyf完成签到，获得积分10
2分钟前
JamesPei的应助被小白白采纳，获得10
2分钟前
lin.xy完成签到，获得积分10
2分钟前
caitlin驳回了Akim的应助
2分钟前
满意的草莓完成签到，获得积分10
2分钟前
完美世界的应助被满意的草莓采纳，获得10
2分钟前
慕青的应助被Aspringin采纳，获得10
2分钟前
3分钟前
贤嘚嘚完成签到，获得积分20
3分钟前
舒心亦瑶完成签到 ，获得积分20
3分钟前
贤嘚嘚发布了新的文献求助10
3分钟前
小袁完成签到 ，获得积分10
3分钟前
3分钟前
小蘑菇的应助被科研通管家采纳，获得10
3分钟前
3分钟前
yacon完成签到，获得积分10
3分钟前
端庄的如花完成签到 ，获得积分10
3分钟前
LJL完成签到 ，获得积分10
3分钟前
小白白发布了新的文献求助10
3分钟前
yacon发布了新的文献求助50
3分钟前
yyds发布了新的文献求助10
3分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各位详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
F-35B V2.0 How to build Kitty Hawk's F-35B Version 2.0 Model 2000
Biodegradable Embolic Microspheres Market Insights 888
Quantum reference frames : from quantum information to spacetime 888
The Netter Collection of Medical Illustrations: Digestive System, Volume 9, Part III - Liver, Biliary Tract, and Pancreas （3rd Edition） 600
(The) Founding Fathers of America 500
2025-2031全球及中国蛋黄lgY抗体行业研究及十五五规划分析报告（2025-2031 Global and China Chicken lgY Antibody Industry Research and 15th Five Year Plan Analysis Report） 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4456919
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3922049
关于积分的说明 12170938
捐赠科研通 3572963
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1962660
邀请新用户注册赠送积分活动 1001867
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 896563
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通