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Wafer-Level Integrated 1200 V SiC MOSFET Package with Room-Temperature Wafer Bonding and Embedded Microfluidic Cooling

材料科学光电子学微流控 MOSFET 晶片键合薄脆饼碳化硅电子工程工作（物理）场效应晶体管硅水冷

作者

Jiajing Nie,Jiuyang Tang,Hao Guan,Xinyue Wang,Tao Jiang,Junran Zhang,G Q Zhang,Guangyin Lei,Fengwen Mu,Pan Liu

标识

DOI：10.1109/ectc51846.2026.00244

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