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Numerical simulation study on growth rate and gas reaction path of InN-MOCVD with Close-Coupled showerhead reactor
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作者
Guangyu Zheng,
Yukang Sun,
Hong Zhang,
Peng Su,
Ran Zuo,
Lijun Liu
出处
期刊：
Journal of Crystal Growth
[Elsevier BV]
日期：2024-04-26
卷期号：637-638: 127725-127725
被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.jcrysgro.2024.127725
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