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Influences of lattice strain and SiGe buffer layer thickness on electrical characteristics of strained Si/SiGe/Si(110) heterostructures

材料科学异质结分子束外延光电子学电子迁移率硅锗泄漏（经济）图层（电子）外延凝聚态物理硅纳米技术物理宏观经济学经济

作者

Taisuke Fujisawa,Atsushi Onogawa,Miki Horiuchi,Yuichi Sano,Chihiro Sakata,Junji Yamanaka,Kosuke O. Hara,Kentarou Sawano,Kiyokazu Nakagawa,Keisuke Arimoto

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2023-03-30 卷期号：161: 107476-107476

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2023.107476

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