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作者
Birudu Venu,Tirumalarao Kadiyam,Koteswararao Penumalli,Sivasankar Yellampalli,Ramesh Vaddi
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier]
日期：2024-02-23 卷期号：288: 112165-112165 被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.mee.2024.112165
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