Impact of post-ion implantation annealing on Se-hyperdoped Ge

离子注入 退火(玻璃) 材料科学 离子 化学 冶金 有机化学
作者
Xiaolong Liu,Patrick Mc Kearney,Sören Schäfer,Behrad Radfar,Yonder Berencén,Ulrich Kentsch,Ville Vähänissi,Shengqiang Zhou,Stefan Kontermann,Hele Savin
出处
期刊:Applied Physics Letters [American Institute of Physics]
卷期号:125 (4)
标识
DOI:10.1063/5.0213637
摘要

Hyperdoped germanium (Ge) has demonstrated increased sub-bandgap absorption, offering potential applications in the short-wavelength-infrared spectrum (1.0–3.0 μm). This study employs ion implantation to introduce a high concentration of selenium (Se) into Ge and investigates the effects of post-implantation annealing techniques on the recovery of implantation damage and alterations in optical properties. We identify optimal conditions for two distinct annealing techniques: rapid thermal annealing (RTA) at a temperature of 650 °C and ultrafast laser heating (ULH) at a fluence of 6 mJ/cm2. The optimized ULH process outperforms the RTA method in preserving high doping profiles and achieving a fourfold increase in sub-bandgap absorption. However, RTA leads to regrowth of single crystalline Ge, while ULH most likely leads to polycrystalline Ge. The study offers valuable insights into the hyperdoping processes in Ge for the development of advanced optoelectronic devices.

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
Atopos文完成签到,获得积分10
1秒前
伶俐千凝完成签到,获得积分20
1秒前
loyal发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
刘亚茹完成签到,获得积分10
2秒前
若雨凌风应助奋斗映寒采纳,获得20
2秒前
香蕉觅云应助fat采纳,获得10
3秒前
3秒前
小林发布了新的文献求助10
3秒前
灰灰发布了新的文献求助10
3秒前
彭于晏应助只谈风月采纳,获得10
3秒前
S飞完成签到 ,获得积分10
4秒前
伶俐千凝发布了新的文献求助10
5秒前
wwwstt完成签到,获得积分10
5秒前
5秒前
5秒前
vv完成签到 ,获得积分10
6秒前
斯文败类应助微笑的冬天采纳,获得10
7秒前
7秒前
科研通AI5应助loyal采纳,获得10
7秒前
wwwstt发布了新的文献求助10
7秒前
8秒前
布毁黑完成签到 ,获得积分10
8秒前
9秒前
Orange应助1111222333采纳,获得10
9秒前
科研通AI5应助miao采纳,获得10
9秒前
10秒前
10秒前
Avvei发布了新的文献求助10
10秒前
10秒前
大模型应助彩色的沛凝采纳,获得10
11秒前
JamesPei应助灰灰采纳,获得10
11秒前
11秒前
可爱的函函应助TANG采纳,获得10
12秒前
孙姣姣发布了新的文献求助10
12秒前
12秒前
13秒前
13秒前
13秒前
高分求助中
Les Mantodea de Guyane Insecta, Polyneoptera 2500
Introduction to Strong Mixing Conditions Volumes 1-3 500
Technologies supporting mass customization of apparel: A pilot project 450
China—Art—Modernity: A Critical Introduction to Chinese Visual Expression from the Beginning of the Twentieth Century to the Present Day 430
Tip60 complex regulates eggshell formation and oviposition in the white-backed planthopper, providing effective targets for pest control 400
A Field Guide to the Amphibians and Reptiles of Madagascar - Frank Glaw and Miguel Vences - 3rd Edition 400
China Gadabouts: New Frontiers of Humanitarian Nursing, 1941–51 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 计算机科学 化学工程 内科学 复合材料 物理化学 电极 遗传学 量子力学 基因 冶金 催化作用
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3794120
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3339098
关于积分的说明 10293786
捐赠科研通 3055628
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1676738
邀请新用户注册赠送积分活动 804705
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 762047