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Influence of ions energy on the bonding structure of amorphous carbon nitride films
作者
Aixiang Wei,
Dihu Chen,
Youguo Zhou,
Peixing Lin,
Zenghong Yang,
Jiahai Fan
出处
期刊：
Materials Chemistry and Physics
[Elsevier BV]
日期：2001-05-01
卷期号：70 (2): 245-248
被引量：4
标识
DOI：10.1016/s0254-0584(00)00497-1
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