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Influence of ions energy on the bonding structure of amorphous carbon nitride films

作者
Aixiang Wei,Dihu Chen,Youguo Zhou,Peixing Lin,Zenghong Yang,Jiahai Fan
出处
期刊：Materials Chemistry and Physics [Elsevier BV]
日期：2001-05-01 卷期号：70 (2): 245-248 被引量：4
标识
DOI：10.1016/s0254-0584(00)00497-1
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