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A study of carrier motion on a dual-face CMP machine

抛光刮擦研磨表面粗糙度材料科学转速化学机械平面化表面光洁度机械工程面子（社会学概念）曲面（拓扑）光学计算机科学复合材料工程类几何学物理数学社会学社会科学

作者

Pei-Lum Tso,Yuyuan Wang,Ming-Jiang Tsai

出处

期刊：Journal of Materials Processing Technology [Elsevier BV]
日期：2001-10-01 卷期号：116 (2-3): 194-200 被引量：21

标识

DOI：10.1016/s0924-0136(01)01045-7

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