Influence of deposition conditions on mechanical properties of a-C:H:SiOx films prepared by plasma-assisted chemical vapor deposition method

纳米压痕 材料科学 化学气相沉积 基质(水族馆) 傅里叶变换红外光谱 拉曼光谱 等离子体增强化学气相沉积 分析化学(期刊) 沉积(地质) 薄膜 碳膜 复合材料 化学工程 纳米技术 化学 光学 冶金 有机化学 海洋学 物理 地质学 工程类 古生物学 生物 沉积物
作者
A.S. Grenadyorov,А.А. Solovyev,К. В. Оскомов,В. С. Сыпченко
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:349: 547-555 被引量:26
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2018.06.019
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
快乐茗发布了新的文献求助10
刚刚
1秒前
1秒前
1秒前
ding应助Grace采纳,获得10
1秒前
栗乾明@NJU发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
2秒前
研友_5Z46A5发布了新的文献求助10
3秒前
李健的小迷弟应助子车钧采纳,获得10
3秒前
3秒前
5秒前
5秒前
Akim应助科研通管家采纳,获得10
7秒前
赘婿应助夏洳采纳,获得10
7秒前
7秒前
香蕉完成签到 ,获得积分10
7秒前
情怀应助科研通管家采纳,获得10
7秒前
SNOWSUMMER发布了新的文献求助10
7秒前
8秒前
8秒前
深情安青应助科研通管家采纳,获得10
8秒前
8秒前
cdercder应助科研通管家采纳,获得10
8秒前
8秒前
orixero应助科研通管家采纳,获得10
9秒前
高高书翠发布了新的文献求助10
9秒前
快乐茗发布了新的文献求助10
9秒前
迷人的Jack发布了新的文献求助10
9秒前
寒月完成签到,获得积分10
9秒前
JoySue发布了新的文献求助10
9秒前
快乐茗发布了新的文献求助10
9秒前
10秒前
快乐茗发布了新的文献求助10
10秒前
10秒前
CodeCraft应助科研通管家采纳,获得10
10秒前
amy发布了新的文献求助10
10秒前
霸气的思柔完成签到,获得积分10
10秒前
桐桐应助科研通管家采纳,获得10
10秒前
SciGPT应助科研通管家采纳,获得10
11秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Cronologia da história de Macau 5000
Petrology and Plate Tectonics 800
Prompt Engineering for Clinicians: Harnessing AI in Everyday Medical Practice 600
Electrode Potentials 550
Butch/Femme: Inside Lesbian Gender 500
Handbook Of Synthetic Methodologies And Protocols Of Nanomaterials 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 光电子学 物理化学 电极 基因 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 6981277
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 8660041
关于积分的说明 18361857
捐赠科研通 6445029
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3093363
关于科研通互助平台的介绍 2150460
邀请新用户注册赠送积分活动 2069719