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Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology

薄脆饼 硅 材料科学 光电子学 工程类 工程物理 纳米技术 环境科学
作者
Werner Kern,Kitt Reinhardt
出处
期刊：Elsevier eBooks [Elsevier BV]
日期：2018-01-01 被引量：346
标识
DOI：10.1016/c2016-0-01001-x
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