Influence of Anodizing Parameters on the Electrochemical Characteristics and Morphology of Highly Doped P-type Porous Silicon

材料科学 阳极氧化 蚀刻(微加工) 多孔硅 溶解 化学工程 多孔性 电解质 兴奋剂 纳米孔 图层(电子) 纳米技术 电化学 各向同性腐蚀 复合材料 电极 光电子学 化学 物理化学 工程类
作者
Abdelazim M. Mebed,Alaa M. Abd‐Elnaiem,Wim De Malsche
出处
期刊:Silicon [Springer Science+Business Media]
卷期号:13 (3): 819-829 被引量:7
标识
DOI:10.1007/s12633-020-00490-6
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