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作者
Masato Matsubara,
Hirozumi Azuma,
Ryoji Asahi
出处
期刊:
Journal of Electronic Materials
[Springer Science+Business Media]
日期:2011-03-11
卷期号:40 (5): 1176-1180
被引量:5
标识
DOI:10.1007/s11664-011-1575-3
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