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Computer simulation of resist profiles at electron beam nanolithography
作者
Katia Vutova,
Elena Georgieva Koleva,
Georgy M. Mladenov,
Ivan Kostic,
Takeshi Tanaka
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2009-11-16
卷期号：87 (5-8): 1108-1111
被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.mee.2009.11.045
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