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作者
Jun Zeng,
Junbo Zhong,
Jianzhang Li,
Zhen Xiang,
Xinlu Liu,
Jiufu Chen
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2014-06-28
卷期号：27: 41-46
被引量：20
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2014.06.014
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