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Nanoscale photolithography by means of surface plasmon interference

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作者
Leonid L. Doskolovich,E. Kadomina,И. И. Кадомин
出处
期刊：Journal of optics [Springer Science+Business Media]
日期：2007-08-31 卷期号：9 (10): 854-857 被引量：21
标识
DOI：10.1088/1464-4258/9/10/013
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