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Composition and chemical state of titanium nitride films obtained by different methods
作者
J.S. Colligon,
H. Kheyrandish,
L. N. Lesnevsky,
А. В. Наумкин,
A.I. Rogozin,
I. I. Shkarban,
L. A. Vasilyev,
V. E. Yurasova
出处
期刊：
Surface & Coatings Technology
[Elsevier BV]
日期：1994-11-01
卷期号：70 (1): 9-17
被引量：25
标识
DOI：10.1016/0257-8972(94)90068-x
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