材料科学
正电子
多孔性
梁（结构）
核物理学
物理
复合材料
光学
电子
作者
R.S. Brusa,C. Macchi,S. Mariazzi,Grzegorz P. Karwasz
标识
DOI：10.12693/aphyspola.107.702
摘要
The information about porosity in low-κ materials obtainable by depth profiling with positron annihilation spectroscopy is reviewed.In particular we focus on Doppler broadening spectroscopy and 2-3 γ ratio of positronium measurements on SiOCH and amorphous carbon a-C:F:H thin films produced by plasma enhanced chemical vapour deposition.
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