Material and technological aspects of high-temperature SiC device packages reliability

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作者
Marcin Myśliwiec,Ryszard Kisiel,M. Guziewicz
出处
期刊:Microelectronics International [Emerald Publishing Limited]
卷期号:32 (3): 143-148 被引量:10
标识
DOI:10.1108/mi-01-2015-0009
摘要

Purpose – The purpose of this paper is to deal with material and technological aspects of SiC diodes assembly in ceramic packages. The usefulness of combinations of different materials and assembly techniques for the creation of inner connection system in the ceramic package, as well as the formation of outer connections able to work at temperatures up to 350°C, were evaluated. Design/methodology/approach – The ceramic package consists of direct bonded copper (DBC) substrate with Cu pads electroplated by Ni or Ni/Au layers on which a SiC diode was assembled by sintering process using Ag microparticles. For the connections inside the ceramic package, the authors used Al/Ni and Au-Au material system based on aluminium or gold wire bonding. The authors sealed the ceramic package with glass encapsulation and achieved a full encapsulation. Outer connections were manufactured using Cu ribbon plated with Ag layer and sintered to DBC by Ag micro particle. The authors investigated the long-term stability of electrical parameters of SiC diodes assembled in ceramic package at temperature 350°C. Findings – The authors have shown that Schottky and PiN SiC diodes assembled with different technologies and materials in ceramic package keep their I-V characteristics unchanged during ageing at 350°C for 400 h. Originality/value – The SiC diodes assembled into ceramic package with Al/Ni or Au-Au inner electrical connection systems and outer connections system based on Ag microparticles sintering process of Cu/Ag ribbon to DBC substrate can work reliably in temperature range up to 350°C.
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