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Synthesis and characterization of volatile liquid Mo precursors for vapor phase deposition of thin films containing molybdenum

化学 钼 齿合度 化学气相沉积 乙腈 无机化学 热重分析 化学计量学 有机化学 金属
作者
Sang Min Lee,Euk Hyun Kim,Sang Man Koo
出处
期刊：Polyhedron [Elsevier BV]
日期：2023-05-04 卷期号：240: 116445-116445 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.poly.2023.116445
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