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Optical modeling and investigation of thin films based on plasma-polymerized HMDSO under oxygen flow deposited by PECVD

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作者
R. Amri,Zied Ben Hamed,D. Gamra,M. Lejeune,H. Bouchriha
出处
期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Science+Business Media]
日期：2023-06-01 卷期号：34 (18) 被引量：3
标识
DOI：10.1007/s10854-023-10749-4
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