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ON CONTROL OF VELOCITY OF GROWTH OF FILMS DURING MAGNETRON SPUTTERING

材料科学 外延 溅射沉积 腔磁控管 生长速度 传质 光电子学 溅射 薄膜 复合材料 热力学 纳米技术 图层（电子） 物理 内分泌学 医学
作者
E. L. Pankratov
出处
期刊：Nanoscience and technology [Begell House Inc.]
日期：2023-06-15 卷期号：15 (1): 87-95
标识
DOI：10.1615/nanoscitechnolintj.2023048213
摘要
Mass transfer during the growth of epitaxial layers in magnetrons was analyzed. We also estimate Growth velocity of the epitaxial layers was estimated and its value as a function of various parameters analyzed.
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