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PMOS Rc reduction using B2H6 plasma doping process and advanced anneals for the current and next-gen DRAM devices

材料科学 PMOS逻辑德拉姆兴奋剂光电子学工程物理纳米技术电气工程晶体管电压工程类

作者

V. Bhosle,Ming Cai,Shashank Sharma,Ben Ng,Michael C. Liu,Dhiraj Raj

出处

期刊：MRS Advances [Springer Science+Business Media]
日期：2025-03-05 卷期号：10 (4): 445-449

标识

DOI：10.1557/s43580-025-01201-2

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