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Effects of single- and multi-pulse femtosecond laser irradiation on N-type 4H-SiC surface morphology, structural transformation, and accompanying defect generation
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纳秒
作者
M. Wang,
Chengrui Tian,
Runsheng Zheng,
Yan Liu,
Mingyang Wei,
Qingbo Li,
Yan Li,
Yan Li,
Yongfu Li,
Yongfu Li,
Yanmin Zong,
Xian Zhao
出处
期刊：
Optics and Laser Technology
[Elsevier BV]
日期：2025-10-31
卷期号：193: 114189-114189
被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.optlastec.2025.114189
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