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Fabrication of ITO diffraction grating structure for infrared plasmonics by thermal nanoimprint lithography

纳米压印光刻 材料科学 栅栏 光电子学 平版印刷术 衍射光栅 光学 制作 等离子体子 氧化铟锡 纳米光刻 衍射效率 薄膜 纳米技术 医学 替代医学 物理 病理
作者
Noriyuki Hasuike,Takeshi Maeda,Minoru Takeda
出处
期刊：Optical Review [Springer Science+Business Media]
日期：2022-08-30 卷期号：29 (5): 450-455 被引量：1
标识
DOI：10.1007/s10043-022-00759-8
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