Phase-gradient atomic layer deposition of TiO2 thin films by plasma-induced local crystallization

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作者
Dohyun Go,Jaehyeong Lee,Jeong Woo Shin,Sungje Lee,Wangu Kang,Jeong Hwan Han,Jihwan An
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier BV]
卷期号:47 (20): 28770-28777 被引量:14
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2021.07.037
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