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Oxygen diffusion kinetics during SiO2/SiC plasma oxidation

氧气 扩散 动力学 等离子体 热氧化 化学 化学物理 分析化学（期刊） 化学工程 硅 热力学 环境化学 有机化学 工程类 物理 量子力学
作者
Nannan You,Xinyu Liu,Qian Zhang,Yang Xu,Jiayi Wang,Shengkai Wang
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2022-11-18 卷期号：207: 111689-111689 被引量：8
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2022.111689
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