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ChemInform Abstract: GROWTH OF INDIUM ANTIMONIDE AND INDIUM ARSENIDE ANTIMONIDE (INAS1‐XSBX) BY OM‐CVD
作者
P.K. Chiang,
S. M. Bedair
出处
期刊：
ChemInform
[Wiley]
日期：1985-02-19
卷期号：16 (7)
标识
DOI：10.1002/chin.198507015
摘要
Abstract Epitaktische Schichten von lnSb und InAs, ‐"Sb" wurden durch OM‐CVD (organometallic chemical vapor deposition) mitt‐els Triethylindium, Trimethylantimon und Arsin (AsH 3 ) auf großflächigen GaAs‐ und lnSb‐Substraten erhalten.
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