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Effect of pulse parameter change on a-SiCN diaphragms for environmental cells fabricated by magnetic-field- and pulsed-plasma-enhanced chemical vapor deposition

电极 材料科学 脉搏（音乐） 等离子体 脉冲持续时间 脉冲宽度调制 电压 电场 振膜（声学） 方波 分析化学（期刊） 化学气相沉积 沉积（地质） 光电子学 化学 光学 电气工程 激光器 沉积物 色谱法 扬声器 古生物学 物理化学 工程类 物理 生物 量子力学
作者
Masanori Murano,Takaomi Matsutani,Tadahiro Kawasaki
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2018-09-07 卷期号：158: 60-64 被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2018.09.005
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