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Fabrication and Multiphysics Evaluation of a SnO2 MEMS Gas Sensor for Ethylene Detection in Battery Systems

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作者

Krishnaprasath Dharmaraj,Gulshan Kumar,Harsh Ranjan,Saurabh Kumar Pandey

出处

期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
日期：2026-03-05 卷期号：55 (6): 5065-5080

标识

DOI：10.1007/s11664-026-12705-4

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