Optical emission spectroscopy as a tool for studying, optimizing, and monitoring plasma-assisted atomic layer deposition processes

原子层沉积 等离子体 沉积(地质) 光谱学 图层(电子) 等离子体处理 材料科学 原子发射光谱法 过程(计算) 薄膜 分析化学(期刊) 化学 纳米技术 感应耦合等离子体 计算机科学 环境化学 操作系统 生物 物理 量子力学 古生物学 沉积物
作者
Adriaan J. M. Mackus,Sbs Stephan Heil,E Erik Langereis,Hcm Harm Knoops,van de Mcm Richard Sanden,Wmm Erwin Kessels
出处
期刊:Journal of vacuum science & technology [American Institute of Physics]
卷期号:28 (1): 77-87 被引量:58
标识
DOI:10.1116/1.3256227
摘要

In this note it is demonstrated that optical emission spectroscopy (OES) is an easy-to-implement and valuable tool to study, optimize, and monitor thin film growth by plasma-assisted atomic layer deposition (ALD). The species in the plasma can be identified through the analysis of the light emitted by the plasma. OES provides therefore information on the reactant species delivered to the surface by the plasma but it also yields unique insight into the surface reaction products and, as a consequence, on the reaction mechanisms of the deposition process. Time-resolved measurements reveal information about the amount of precursor dosing and length of plasma exposure needed to saturate the self-limiting half reactions, which is useful for the optimization of the ALD process. Furthermore, time-resolved OES can also be used as an easy-to-implement process monitoring tool for plasma-assisted ALD processes on production equipment; for example, to monitor reactor wall conditions or to detect process faults in real time.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
chaoqi发布了新的文献求助10
1秒前
缥缈纲完成签到,获得积分10
2秒前
心灵美的修洁完成签到 ,获得积分10
3秒前
YOMU完成签到,获得积分10
4秒前
5秒前
在水一方应助chaoqi采纳,获得10
7秒前
13秒前
HMX完成签到,获得积分10
14秒前
星月夜完成签到,获得积分10
14秒前
了了故事发布了新的文献求助100
14秒前
叶诗柳完成签到,获得积分10
15秒前
颜色渐变发布了新的文献求助10
17秒前
凤迎雪飘完成签到,获得积分10
18秒前
21秒前
想上985完成签到,获得积分10
21秒前
无花果应助科研通管家采纳,获得10
25秒前
大模型应助科研通管家采纳,获得10
25秒前
今后应助科研通管家采纳,获得10
25秒前
wanci应助科研通管家采纳,获得10
25秒前
乐乐应助科研通管家采纳,获得10
25秒前
小马甲应助科研通管家采纳,获得10
25秒前
赘婿应助科研通管家采纳,获得10
25秒前
25秒前
斯文败类应助科研通管家采纳,获得10
25秒前
桐桐应助科研通管家采纳,获得10
25秒前
科研通AI2S应助科研通管家采纳,获得10
26秒前
yar应助科研通管家采纳,获得10
26秒前
英姑应助科研通管家采纳,获得10
26秒前
26秒前
26秒前
田様应助科研通管家采纳,获得10
26秒前
26秒前
26秒前
鸣笛应助科研通管家采纳,获得10
26秒前
26秒前
26秒前
26秒前
26秒前
26秒前
Hello应助科研通管家采纳,获得10
26秒前
高分求助中
【重要!!请各位用户详细阅读此贴】科研通的精品贴汇总(请勿应助) 10000
Three plays : drama 1000
International Code of Nomenclature for algae, fungi, and plants (Madrid Code) (Regnum Vegetabile) 1000
Semantics for Latin: An Introduction 999
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 530
Apiaceae Himalayenses. 2 500
北师大毕业论文 基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 490
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 4087145
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3626008
关于积分的说明 11498334
捐赠科研通 3339255
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1835824
邀请新用户注册赠送积分活动 904033
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 822032