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High-power EUV light sources (>500w) for high throughput in next-generation EUV lithography tools

极紫外光刻 吞吐量 平版印刷术 光电子学 功率（物理） 材料科学 计算机科学 物理 电信 量子力学 无线
作者
Klaus Hummler,Qiushi Zhu,Keegan Behm,Liane M. Matthes,Zhaohan He,Omar Biabani,A. D. LaForge,Bob Rollinger,Dustin Urone,Niek Kleemans,M. Jurna,Sean McGrogan,Peter Mayer,Michael Purvis,S.W. Derks,Alberto Villalta,Abhiram Govindaraju,Yue Ma,Daniel J. Brown
标识
DOI：10.1117/12.3010463
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