N2 remote plasma cleaning of InP to improve SiNx:H/InP interface performance

电子回旋共振 等离子体 材料科学 化学气相沉积 光电子学 绝缘体(电) 分析化学(期刊) 电阻率和电导率 化学 电气工程 色谱法 量子力学 物理 工程类
作者
E. Redondo,M N Blanco,I. Mártil,G. González-Dı́az
出处
期刊:Microelectronics Reliability [Elsevier BV]
卷期号:40 (4-5): 837-840 被引量:2
标识
DOI:10.1016/s0026-2714(99)00322-4
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