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Design and modeling of chemical vapor deposition reactors

输运现象化学气相沉积大规模运输反应堆设计沉积（地质）流体力学机械流量（数学）化学核工程材料科学工程物理工艺工程纳米技术物理工程类地质学古生物学沉积物

作者

William L. Holstein

出处

期刊：Progress in Crystal Growth and Characterization of Materials [Elsevier BV]
日期：1992-01-01 卷期号：24 (2): 111-211 被引量：54

标识

DOI：10.1016/0960-8974(92)90031-k

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