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Investigation Structural Heterogeneities in Hydrogenated Nanocrystalline Silicon Thin Films from Argon-Diluted Silane Dusty Plasma PECVD

等离子体增强化学气相沉积 硅烷 氩 材料科学 纳米晶材料 硅 薄膜 纳米晶硅 等离子体 微粒电浆 化学工程 复合材料 化学 冶金 纳米技术 晶体硅 非晶硅 有机化学 工程类 物理 量子力学
作者
Rachid Amrani,Fouaz Lekoui,F. Pichot,Kamal Annou,Pascale Abboud,Elyes Garoudja,Walid Filali,Slimane Oussalah,Y. Cuminal
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2024-08-24 卷期号：229: 113568-113568 被引量：1
链接
hal.sciencedoi.org
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2024.113568
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