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High-speed femtosecond laser lithography for low-loss wafer-scale lithium niobate integrated photonics
作者
Weimin Huang,
Jinming Chen,
Lvbin Song,
Zhaoxiang Liu,
Jianping Yu,
Yunpeng Song,
Min Wang,
Ya Cheng
出处
期刊：
Science China Physics, Mechanics & Astronomy
[Springer Science+Business Media]
日期：2025-12-11
卷期号：69 (3)
标识
DOI：10.1007/s11433-025-2849-6
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