Design and fabrication compound diffuser film with LIGA-like process

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作者
M.F. Chen,Cheng Pan,Yeong‐Maw Hwang
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
卷期号:167 (1): 130-138 被引量:15
标识
DOI:10.1016/j.sna.2011.02.014

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