Effect of substrate bias voltage on the properties of CrCN and CrN coatings deposited by cathodic arc evaporation

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作者
B. Warcholiński,A. Gilewicz
出处
期刊:Vacuum [Elsevier BV]
卷期号:90: 145-150 被引量:66
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2012.04.039

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