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Effect of substrate bias voltage on the properties of CrCN and CrN coatings deposited by cathodic arc evaporation

材料科学 偏压 氮化铬 残余应力 纳米压痕 基质（水族馆） 复合材料 阴极保护 沉积（地质） 微晶 蒸发 压痕硬度 冶金 氮化物 电压 阳极 微观结构 电极 图层（电子） 化学 物理化学 海洋学 生物 古生物学 量子力学 物理 沉积物 地质学 热力学
作者
B. Warcholiński,A. Gilewicz
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2012-05-08 卷期号：90: 145-150 被引量：66
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2012.04.039
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