Fabrication of metallic patterns on highly curved substrates via nanoimprint lithography in association with an etch-in process

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作者
Xin Hu,Hongquan Wang,Chun Zhai,Haixiong Ge,Yushuang Cui
出处
期刊:Journal of Materials Chemistry C [Royal Society of Chemistry]
卷期号:4 (47): 11104-11109 被引量:14
标识
DOI:10.1039/c6tc03392j
摘要

Cr and Au gratings are fabricated on both planar and highly curved substrates via nanoimprint lithography in association with an etch-in process. Furthermore, a 330 nm deep surface relief fiber Bragg grating is fabricated via RIE using the Cr mask on an optical fiber.

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