纳米压印光刻
材料科学
制作
平版印刷术
栅栏
光电子学
蚀刻(微加工)
光纤布拉格光栅
平面的
纳米技术
光学
图层(电子)
波长
医学
替代医学
计算机图形学(图像)
病理
计算机科学
物理
作者
Xin Hu,Hongquan Wang,Chun Zhai,Haixiong Ge,Yushuang Cui
摘要
Cr and Au gratings are fabricated on both planar and highly curved substrates via nanoimprint lithography in association with an etch-in process. Furthermore, a 330 nm deep surface relief fiber Bragg grating is fabricated via RIE using the Cr mask on an optical fiber.
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