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Oxygen flow rate effect on copper oxide thin films deposited by radio frequency magnetron sputtering

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作者
Rabah Tadjine,Amina Houimi,Mohamed Mounes Alim,N. Oudini
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2021-11-19 卷期号：741: 139013-139013 被引量：27
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2021.139013
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