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Comparing Microstructures of ITO Sputtering Targets Prepared by Tin Doped Indium Oxide Powders and In2O3-SnO2 Mixed Powders

材料科学 微观结构 溅射 烧结 氧化铟锡 溅射沉积 粒度 冶金 兴奋剂 氧化物 化学工程 薄膜 纳米技术 光电子学 工程类
作者
Xiaobo Ma,Weijia Zhang,Dongxing Wang,Sun Benshuang,Jingming Zhong
出处
期刊:Rare Metal Materials and Engineering [Elsevier BV]
卷期号:44 (12): 2937-2942 被引量:15
标识
DOI:10.1016/s1875-5372(16)60026-7

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