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Application of high-energy synchrotron-radiation XPS to determine the thickness of SiO2 thin films on Si(100)
作者
Hiroyuki Yamamoto,
Yuji Baba,
T.A. Sasaki
出处
期刊：
Surface Science
[Elsevier BV]
日期：1996-03-01
卷期号：349 (1): L133-L137
被引量：27
标识
DOI：10.1016/0039-6028(95)01332-6
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