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作者
Mohamed Abudakka,
Ahsanulhaq Qurashi,
Parameswar Hari,
Mir Waqas Alam
出处
期刊:
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期:2010-04-01
卷期号:13 (2): 115-118
被引量:5
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2010.05.001
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