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Low temperature TiN deposition by ICP-assisted chemical vapor deposition

材料科学化学气相沉积锡沉积（地质）离子镀燃烧化学气相沉积化学工程混合物理化学气相沉积冶金纳米技术薄膜碳膜古生物学沉积物工程类生物

作者

Dong-Kak Lee,Jung-Joong Lee,Junghoon Joo

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2003-04-30 卷期号：174-175: 1234-1237 被引量：19

标识

DOI：10.1016/s0257-8972(03)00472-9

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