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Effect of N2-H2 Remote Plasma Nitridation Temperature on Surface Properties of Te-Doped GaSb Crystals

兴奋剂 等离子体 材料科学 远程等离子体 分析化学（期刊） 光电子学 化学 环境化学 化学气相沉积 物理 量子力学
作者
Zhentao Qin,Lingyan Xu,Pengfei Liu,Zhao Liang,Ruizhi Yu,Liang Lü,Yingming Wang,Chi Qin,Kai Jiang,Rongjin Shang,Yuwei Cao,Wanqi Jie
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2024-08-23 卷期号：229: 113580-113580
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2024.113580
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