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Multi-Focal Picosecond Laser Vertical Slicing of 6-Inch 4h-Sic Ingots

切片材料科学皮秒激光器光学光电子学机械工程工程类物理

作者

Shusen Zhao,Jiabao Du,Xiaoyu Lu,Jiang Lu,Shifei Han,Xinyao Li,Haijuan Yu,Xuechun Lin

出处

期刊：Social Science Research Network [RELX Group (Netherlands)]
日期：2025-01-01

标识

DOI：10.2139/ssrn.5214921

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